원리 및 기능

전자빔이 시료와 충돌한 후 방출되는 다양한 신호(예: Secondary Electron, Backscattered Electron, Cathode Luminescence, X-ray 등)를 이용하여 시료 표면의 미세한 구조를 확대, 시료의 특성, 표면구조, 성분분석 등을 관찰할 목적으로 사용된다.

기기 활용

○ 표면 미세구조 및 형태학적 분석
○ 구성 원소의 분포 및 정성 분석
○ 적층 두께 , 균일도 및 불량 분석

사양

제작사: Carl Zeiss
모델명: Sigma 360
Electron source: Field Emission Gun (FEG)
Acceleration voltage: 0.02 ~ 30 kV
Resolution: ~1.0 nm @ 15 kV (SE)
Magnification: 20× ~ 1,000,000×
Detectors: SE, InLens, BSE (optional: EDS, EBSD)
Vacuum mode: High vacuum / Variable pressure
Stage: 5-axis motorized stage